CAX系列X-Y精密平台选用高强度铝合金,经应力消除处理后再经摄氏196度之超深冷处理,可长期使用仍保有良好之精密度。工作台内部和进给机构装有5年或20000公里免维护的精密级直线导轨和C3级滚珠丝杠,既保持了原来的性能又实现了长期免维护。实现了稳定的高行走精度、定位精度和大搭载质量,该结构承受力矩及复合负荷较强。采用AC400W伺服马达,全闭环控制实现了极高精度的定位工作台。X-Y轴的平台220mm有效行程为8吋晶元设计。
型号表示:
CAX15R220-Y220P10-S1-M
(1)CAX15:CAX平台底座宽度150mm;
(2)R220:X轴有效行程220mm;
(3)Y220:Y轴有效行程220mm;
(4)10:滚珠丝杆的导程分为5mm和10mm;
(5)S1:SX671型极限开关,S2:SX674型极限开关;
(6)M:AC400W伺服马达;可客制化。
用户可根据不同的工作环境选择产品氧化后染黑处理、本色阳极氧化、硬质氧化、彩色氧化、喷砂氧化、钝化、化学镀镍等表面处理方式。特殊要求可达到B.S.5599(1978)英国标准、AMS2469C 太空材料规格及MIL-A-8625E TYPE Ⅲ军事规格等材质。